ALD-Anlage
Value
Estimated€461,344 · 461,344 EUR
Awarded€461,344 · 461,344 EUR
WinnerSENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Who already wins at this buyer
Firms with recorded awards from Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. in this tender’s CPV categories — the incumbents you are bidding against.
| Firm | Wins | Awarded | Last win |
|---|---|---|---|
| Active Fiber Systems GmbH | 1 | €462,060 | 2026-08-14 |
Full buyer profile: what Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. buys and who wins it →
CPV codes
38000000 Laboratory, optical & precision equipmentDescription
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.