Atomic Layer Deposition (ALD) System
TED · 742150-2026Award noticeNo deadline given
Buyer
NameWalther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
CountryDE
Published2026-10-27
Deadline—
Value
Estimated—
Awarded—
CPV codes
38000000 Laboratory, optical & precision equipmentDescription
Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.
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