Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems
TED · 399873-2026Prior information · call for competitionNo deadline given
Buyer
NameFerdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
CountryDE
Published2026-06-11
Deadline—
Value
Estimated€944,000 · 944,000 EUR
Awarded—
CPV codes
38000000 Laboratory, optical & precision equipmentDescription
Der Auftraggeber beabsichtigt die Durchführung eines Vergabeverfahrens zur Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE). Gegenstand der Beschaffung ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Anlage zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern (z. B. InP, InGaP, AlGaAs). Ziel ist die Erweiterung und Weiterentwicklung bestehender Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung im Rahmen des Projekts APECS
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