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Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems

TED · 399873-2026pin-rtlNo deadline given

Buyer

NameFerdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

CountryDE

Published2026-06-11

Deadline—

Value

Estimated€944,000 · 944,000 EUR

Awarded—

CPV codes

38000000 Laboratory, optical & precision equipment

Description

Der Auftraggeber beabsichtigt die Durchführung eines Vergabeverfahrens zur Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE). Gegenstand der Beschaffung ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Anlage zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern (z. B. InP, InGaP, AlGaAs). Ziel ist die Erweiterung und Weiterentwicklung bestehender Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung im Rahmen des Projekts APECS

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