Dual Beam
TED · 480514-2026Award noticeawardedNo deadline given
CPV codes
38000000 Laboratory, optical & precision equipmentDescription
Leistungsgenstand ist eine Feinstrahlimplantationsanlage zur deterministischen Implantation einzelner Atomen und Fehlstellen in Festkörpern zur Herstellung von Quantensystemen mit einer lateralen Auflösung von unter 5 nm in allen 3 Dimensionen.
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