FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
TED · 631404-2026Contract noticeNo deadline given
Buyer
NameFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
CountryDE
Published2026-09-14
Deadline—
Value
Estimated—
Awarded—
CPV codes
42990000 Industrial machineryDescription
Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.