Vorinformation – Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems für Halbleiterprozesse

TED · 401361-2026pin-rtlNo deadline given

Buyer

NameFerdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

CountryDE

Published2026-06-11

Deadline—

Value

Estimated€1,386,000 · 1,386,000 EUR

Awarded—

CPV codes

38000000 Laboratory, optical & precision equipment

Description

Der Auftraggeber beabsichtigt die Durchführung eines Vergabeverfahrens zur Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems für die Halbleiterfertigung. Gegenstand ist die Lieferung einer Anlage zur Metallabscheidung auf Substraten bis 200 mm Durchmesser im Rahmen von mikro- und nanoelektronischen Prozessen. Die Beschaffung dient der Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im Bereich der Halbleiter- und Photoniktechnologie im Rahmen des Projekts APECS.

Similar tenders

Closest by meaning — across languages, via embeddings.

Published	Title	Buyer	Match
2026-06-11	Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems	Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik DE	92%
2026-06-17	Lieferung eines Rasterelektronenmikroskop mit EDXS-Analysesystem einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)	Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik DE	88%
2026-06-15	Lieferung eines Rasterelektronenmikroskop mit EDXS-Analysesystem einschließlich Nebenleistungen	Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik DE	88%
2026-05-29	IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer	Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts DE	87%
2026-06-16	Kamerasystem zur Direktelektronendetektion für ein Transmissionselektronenmikroskop	Helmholtz-Zentrum hereon GmbH DE	87%
2026-06-10	Gerätebeschaffung zur Analyse von Bodenatmung und Spurengas Emissionen	Senckenberg Gesellschaft für Naturforschung DE	87%

Source

View the official notice on TED ↗