CMP Anlage
TED · 458651-2026can-standardawardedNo deadline given
CPV codes
42990000 Industrial machinery42611000 Industrial machinery38000000 Laboratory, optical & precision equipmentDescription
Anlage zum Planarisieren und Glätten von Oberflächen mittels chemisch-mechanischem Polieren (CMP, chemical mechanical polishing) zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten
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