Fourniture d'un implanteur ionique R&D en 100, 150 et 200mm
Buyer
NameCEA Grenoble
CountryFR
Published2026-05-22
Deadline—
CPV codes
31712100 Electrical machinery & lightingDescription
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un implanteur ionique. L'équipement doit avoir un haut niveau de flexibilité pour permettre le traitement d'une grande diversité de plaques (taille, nature des matériaux) et de conditions d’utilisation (espèces, énergie, dose, température pendant l'implantation). Le marché comporte : • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°1 : Proposition d’une nouvelle technique permettant de créer un plasma à partir d’une espèce solide conformément à l’article 3.1.3 du cahier des charges o Option n°2 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°3 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°4 : La formation de maintenance premier niveau pour 3 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
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