Beschaffung einer Entwicklungsplattform für Slurry bassierte Einzelprobenpräperation

CPV codes

Description

Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer CNC-gesteuerten Prozessplattform für die slurry-basierte Rückseitenbearbeitung funktionaler Halbleiterbauelemente. Der Leistungsumfang umfasst die Anlagenkonfiguration, Demonstration und Verifizierung, Schulung, technische Abnahme, Dokumentation sowie Anwendungsunterstützung für den Prozesstransfer.

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