Equipement de dépôt LPCVD
TED · 352159-2026Award noticeNo deadline given
Buyer
NameCOMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
CountryFR
Published2026-05-22
Deadline—
Value
Estimated—
Awarded€1 · 1 EUR
Who already wins at this buyer
Firms with recorded awards from COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES in this tender’s CPV categories — the incumbents you are bidding against.
| Firm | Wins | Awarded | Last win |
|---|---|---|---|
| TESCAN France | 1 | €1 | 2026-04-30 |
CPV codes
31712100 Electrical machinery & lightingDescription
Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).
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