Equipement de dépôt LPCVD

TED · 352159-2026can-standardNo deadline given

Buyer

NameCOMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

CountryFR

Published2026-05-22

Deadline—

Value

Estimated—

Awarded€1 · 1 EUR

CPV codes

31712100 Electrical machinery & lighting

Description

Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).

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