EUV-Targets
TED · 731863-2026Award noticeawardedNo deadline given
CPV codes
38000000 Laboratory, optical & precision equipment38420000 Laboratory, optical & precision equipment38433000 Laboratory, optical & precision equipmentDescription
Mit der zu Beschaffenden EUV-Quelle, inklusive Instrumentierung zur Charakterisierung der Emission sollen wissenschaftliche Aspekte beleuchtet werden. Dazu gehören vor allem Untersuchungen der Emissionsabhängigkeiten von den Parametern der eingestrahlten Laserleistung. Zusätzlich soll dieser Aufbau als Alternative zu bereits am HI Jena entwickelten kohärenten EUV-Quellen hinsichtlich ihrer Anwendung für bildgebende Verfahren untersucht werden.